微量氧分析儀方法主要有比色法、化學電池法、黃磷發光法、濃差電池法和氣相色譜法。其中比色法是較早采用的分析方法，它是國家標準規定的方法，利用銅氨溶液進行比色分析，由于操作復雜，準確度難以保證，并且不能實現自動在線分析，現在已很少采用，不過它還是一種仲裁方法。黃磷發光法是利用氧氣與黃磷氧化燃燒進行分析，具有分析速度快，可以連續分析的特點，但該方法采用的黃磷是危險化學品，生成的產物具有腐蝕性，并且檢測限低，所以現在已很少采用。在這里主要介紹化學電池法、濃差電池法和氣相色譜法。
微量氧分析儀使用前的校驗方法：
1.微量氧分析儀正常開啟，經30分鐘爐溫達到650攝氏度，儀器退出程序升溫狀態轉入氧量測量狀態。
2.在測量狀態下按住確認鍵，10秒后儀器屏幕進入“顯示存儲，濃度校正及參數設置”主菜單。
3.接通氮中氧氣體標準物質，調整流量。
4.按選擇鍵，光標指向濃度校正，按確認鍵，屏幕顯示密碼確認菜單，按選擇鍵，光標分別指向一，二，三，為密碼，按上下鍵進行密碼輸入，當輸入密碼分別為01,02,03，且光標指向密碼確認后，屏幕顯示濃度校正子菜單，選擇零點校正。
5.根據屏幕顯示濃度，按上下鍵調整到與氣體標準物質的濃度一致后，靜止10秒無濃度變化，按選擇鍵使光標指向返回，按三次確認鍵后，屏幕轉入測量狀態，完成本次濃度校正。
微量氧分析儀使用的范圍非常廣泛：鋼鐵、冶金、熱電、石化、化工、焦化、PVC、多晶硅、合成氨、空分制氧、空分制氮、化工流程氧含量自動分析、電子行業保護性氣體中氧含量分析(氮氣中微量氧分析)， 磁性材料等高溫燒結爐的保護性氣體中氧含量分析、玻璃、建材行業中氧含量分析及各種行業中氧含量分析均能使用到。
